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電子束

激光光刻系統(tǒng) 納米加工

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用于以 FIB 為中心的納米加工的 FIB-SEM

VELION 是一種用于納米科學與工程的新型 FIB-SEM 儀器概念。FIB 納米加工已成為制造三維和高分辨率納米結構（例如等離子體裝置、納米流體、局部注入和功能化）的標準技術。VELION 滿足納米加工的嚴苛要求。該概念包括一個可配置平臺，其功能包括

專用 nanoFIB 離子柱
用于多物種離子束技術的液態(tài)金屬合金源
激光干涉儀平臺
定制的 FE-SEM 色譜柱
各種選項/系統(tǒng)配置，包括氣體注射和納米操縱器

VELION 具有垂直安裝的FIB 柱和側面安裝的 SEM。結合Raith 的激光干涉儀平臺和成熟的光刻技術，VELION 的 FIB-SEM 納米加工裝置。以FIB 為中心的專用系統(tǒng)架構可確保穩(wěn)定性、準確性和自動化。即使是最復雜的 2D 和 3D 結構也可以在無人值守的情況下在大面積和長時間內(nèi)按照最高精度標準制造。

此外，IONselect 技術提供一系列離子種類可供選擇。這一功能將為下一代研究的新突破鋪平道路。根據(jù)特定應用調(diào)整離子特性可增強 FIB 處理。在此處了解有關 nanoFIB 色譜柱的更多信息。

要獲得有關 nanoFIB 色譜柱或 IONselect 技術的更深入信息，您還可以下載相應的資料。

下載 NANOFIB

下載 IONSELECT

具有 3D 重建功能的高分辨率離子顯微鏡

用于創(chuàng)新納米加工的現(xiàn)代 FIB 柱設計還為高分辨率 FIB 成像提供的設置。專有的多物種離子源技術可以使用從同一源發(fā)出的鎵、鉍和鋰離子，并使用后續(xù)的維恩過濾器來最大限度地減少切換時間。作為 LMAIS 可用的最輕離子，鋰可實現(xiàn)最高橫向分辨率的離子圖像，而重 Ga 離子和 Bi 離子或 Bi 簇可用于精確的垂直銑削。將這些功能與激光干涉儀平臺的精度結合在一個工具中，VELION 成為一款強大的3D 成像離子顯微鏡。

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聚焦離子束掃描電鏡系統(tǒng)

用于以 FIB 為中心的納米加工的 FIB-SEM

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