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當前位置:首頁  >  技術(shù)文章

  • 2024

    8-22

    在半導(dǎo)體制造、光電子器件和微機電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域,精密的圖案刻蝕是實現(xiàn)高性能微型化設(shè)備的關(guān)鍵過程。反應(yīng)離子刻蝕機作為這一過程的核心工具,通過物理和化學(xué)的方式精確移除材料,形成所需的微觀結(jié)構(gòu)。下面將介紹離子刻蝕機的工作原理、主要特點及其在高科技產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用。反應(yīng)離子刻蝕機使用等離子體,即電離狀態(tài)的氣體,其中帶電的化學(xué)物質(zhì)和離子在電磁場的作用下,以高速度撞擊材料表面,從而進行刻蝕。此過程涉及到化學(xué)腐蝕和物理撞擊兩種機制,使得RIE能夠在保持高精度的同時,實現(xiàn)快速的刻蝕速率。1...

  • 2024

    8-14

    在微機電系統(tǒng)和納米技術(shù)的快速發(fā)展中,深硅刻蝕技術(shù)以其加工精度和深遠的應(yīng)用前景,成為現(xiàn)代微納加工技術(shù)的重要組成部分。這種技術(shù)能夠在硅片上實現(xiàn)高縱深比的微型結(jié)構(gòu),對推動微型傳感器、生物醫(yī)學(xué)裝置及微流控系統(tǒng)的發(fā)展起到了關(guān)鍵作用。下面將介紹深硅刻蝕技術(shù)的原理、特點及其在高科技領(lǐng)域的應(yīng)用。深硅刻蝕技術(shù)主要采用反應(yīng)離子刻蝕的方法,通過化學(xué)反應(yīng)和物理撞擊相結(jié)合的方式,精確地移除硅片表面的材料。在這個過程中,保護層和光刻膠被用作掩模,以確??涛g過程只在特定區(qū)域進行。通過調(diào)整刻蝕參數(shù),如氣體組...

  • 2024

    8-9

    在尼康E100教學(xué)級生物顯微鏡的使用過程中,一些常見的不規(guī)范操作包括:不規(guī)范操作不清潔顯微鏡:不規(guī)范:使用顯微鏡前或使用后沒有清潔鏡頭和載玻片,導(dǎo)致鏡頭污染和圖像模糊。正確做法:使用顯微鏡前后,用無塵鏡頭紙和適當?shù)那鍧嵰呵鍧嶇R頭和載玻片。隨意調(diào)整顯微鏡:不規(guī)范:粗暴或不正確地調(diào)整顯微鏡的焦距或視場,可能會導(dǎo)致顯微鏡損壞。正確做法:用細致的調(diào)節(jié)方法,首先使用低倍物鏡,調(diào)整粗調(diào)焦距后再調(diào)整細調(diào)焦距,避免過度用力。使用不當?shù)奈镧R:不規(guī)范:在高倍物鏡下調(diào)整焦距時,物鏡與載玻片直接接觸...

  • 2024

    8-5

    掃描電鏡(SEM)是一種強大的科學(xué)工具,用于提供納米至微米級別高分辨率的表面圖像。它廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物學(xué)、冶金學(xué)和許多其他學(xué)科領(lǐng)域,用以研究樣品的表面結(jié)構(gòu)和組成。下面旨在深入解析掃描電鏡的基本工作原理及其在科學(xué)研究和工業(yè)中的應(yīng)用。掃描電鏡的主要組成部分1、電子槍:電子槍是SEM的光源,通常采用熱離子或場發(fā)射源來產(chǎn)生電子。這些電子被加速到高能量,形成一個聚焦的電子束。2、電磁透鏡:通過電磁透鏡系統(tǒng),電子束被聚焦并掃描在樣品上。這些透鏡確保電子束具有足夠的細度以提供高分辨率...

  • 2024

    7-25

    聚焦離子束掃描電鏡(FocusedIonBeamScanningElectronMicroscope,簡稱FIB-SEM)是一種先進的電子顯微鏡系統(tǒng),結(jié)合了離子束刻蝕和掃描電子顯微鏡成像技術(shù)。它不僅可以進行高分辨率的表面成像,還能在同一平臺上進行樣品切割、精確加工和三維重建,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué)和納米技術(shù)等領(lǐng)域。結(jié)構(gòu)和工作原理離子束系統(tǒng):FIB-SEM的核心部分是離子束系統(tǒng),通常使用高能量的離子束(通常為鎵離子),用于刻蝕樣品表面或進行精細加工。離子束的聚焦能力決定了...

  • 2024

    7-15

    在場發(fā)射顯微鏡的幫助下,科學(xué)家們得以揭開了納米尺度下物質(zhì)的神秘面紗。作為現(xiàn)代材料科學(xué)、生物學(xué)以及納米技術(shù)研究的重要工具,顯微鏡以其高分辨率和深度成像能力,為微觀世界的探索提供了新的視角。顯微鏡是基于電子光學(xué)原理工作的,它使用極細的電子束掃描樣品表面,通過檢測電子與樣品相互作用產(chǎn)生的信號(如二次電子、背散射電子等),獲取樣品表面的高分辨率圖像。與傳統(tǒng)的掃描電子顯微鏡(SEM)相比,顯微鏡采用場致發(fā)射型電子槍,這種電子槍能提供更細的電子束,從而實現(xiàn)更高的成像分辨率,通??蛇_到納米...

  • 2024

    7-9

    在現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)研究中,X射線顯微鏡作為一種強有力的分析工具,使我們能夠深入地探究材料的顯微結(jié)構(gòu)。它利用X射線穿透力強和波長短的特性,為我們提供了一種非破壞性的三維成像方式。這項技術(shù)在材料科學(xué)、生物學(xué)、藥學(xué)、地質(zhì)學(xué)等領(lǐng)域中都有著廣泛的應(yīng)用。X射線顯微鏡的工作原理基于X射線與物質(zhì)相互作用時的吸收和相位對比。當X射線穿過樣品時,不同密度和厚度的區(qū)域會對X射線產(chǎn)生不同的吸收和相位偏移,從而形成圖像對比。通過旋轉(zhuǎn)樣品并從多個角度獲得投影圖像,可以重建出高分辨率的三維結(jié)構(gòu)圖像。使用顯微鏡...

  • 2024

    7-2

    在科學(xué)技術(shù)的發(fā)展進程中,顯微鏡技術(shù)的進步極大地拓寬了我們對世界的認知。繼掃描電子顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)之后,雙束電鏡以其配置和功能,為材料科學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)乃至生物科學(xué)領(lǐng)域的研究者提供了一個精細觀察與分析平臺。雙束電鏡,顧名思義,配備了兩套電子光學(xué)系統(tǒng),一套用于掃描樣品表面產(chǎn)生高分辨率的圖像(如同SEM的功能),另一套則可以精準地對樣品進行切割、鉆孔或沉積物質(zhì),這種技術(shù)被稱為聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)。將SEM與FIB結(jié)合的雙束電鏡,不僅具備掃描電鏡的高分辨率...

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